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      前瞻技術:

      固態激光雷達

      1.基本原理

      分為:外部光源、OPA 光子相位陣列列、分路器、光波導、移相器、光發射天線陣列

      其測距原理均不使用FOT時間飛行法,采用相干法

      2.關鍵技術

      光路調相機制:PIN調相 ,切換速度快;熱光子器件調相,切換速度慢,成熟

      硅基光子器件:硅基光敏器件(接收,成熟),硅基激光發射器件(發射,不成熟)

      光天線:普遍采用波導光柵

      光路制備工藝:普遍采用SOI工藝


      3.光路調相

      光路調相有兩種技術:熱光子環和PIN二級管,本質上都是增加光路時延。

      PIN 調相(CALTECH)

      熱光子開關(MIT)

      4.器件

      光器件是基于SiGe工藝,接收管可以和SOI工藝兼容。激光管不行。器件看這篇:

      專欄作家斛律哥:摩爾定律的黃昏,自動駕駛的黎明:站在時代肩膀上的光電半導體zhuanlan.zhihu.com硅鍺工藝制備的光敏二極管(UCSB),用于接收進行波導到光柵的轉換利用衍射效應,通過光柵將光子發射出去

      硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler(聚焦光柵耦合器),發射天線

      5.工藝

      典型的光柵制作工藝:

      1.紫外光刻

      2.感應耦合等離子體蝕刻

      3.光柵體蝕刻深度70nm深

      4. 使用Si3N4制作光波導

      5.使用SiGe工藝制作光敏二極管,用于接收


      星期一
      2.18
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